材料腐蝕的電化學測試方法局限于整個樣品的宏觀測試,測試結果只反映樣品的不同局部位置的整體統計結果,不能反映出局部的腐蝕及材料與環境的作用機理.為進行局部表面科學研究,微區掃描系統提供了一個新的途徑,并日益得到包括局部腐蝕領域的廣泛應用。近年來，人們一直在探索局部電化學過程的研究。*代掃描參比電極技術（SRET）能探測局部腐蝕的發生。第二代掃描振動電極技術（SVET）采用振動電極測量局部 （電流，電位〕隨遠離被測電極表面位置的變化。 SVET具有比SRET更高的靈敏度。在SVET和SVET基礎上，又提出了采用掃描Kelvin振動電極（SKP）測量不同材料表面功函數。

SVET工作原理
掃描振動參比電極系統是利用振動電極和鎖相放大器消除微區掃描中的噪聲干擾,提高測量精度. SVET系統具有高靈敏度,非破壞性,可進行電化學活性測量的特點.它可進行線性或面掃描,研究局部腐蝕（如電蝕和應力腐蝕的產生,發展等）,表面涂層及緩蝕劑的評價等方面的研究,掃描振動探針（SVET）是在液態腐蝕環境下,進行腐蝕研究的有力工具,它能檢測小于5uA/cm2的原位腐蝕。
 
SKP工作原理
 
SKP掃描開爾文探針系統為表面科學測量提供了一個新的途徑，開爾文探針是一種無接觸，無破壞性的儀器，可以用于測量導電的、半導電的，或涂覆的材料與試樣探針之間的功函差。 這種技術是用一個振動電容探針來工作的，通過調節一個外加的前級電壓可以測量出樣品表面和掃描探針的參比針尖之間的功函差。 功函和表面狀況有直接關系的理論的完善使SKP成為一種很有價值的儀器，它能在潮濕甚至氣態環境中進行測量的能力使原先不可能的研究變為現實。